研究設備センター
目的
本センターは、本学が保有する大型の教育研究設備を集中的に管理し、全学的な有効利用の促進と産学連携事業に貢献することを目的としています。
役割
- 全学的教育研究設備の管理運営に関すること。
- 全学的教育研究設備の有効利用に関すること。
- 全学的教育研究設備の整備計画に関すること。
- 受託分析等による産学連携に関すること。
- その他研究設備に関すること。
組織
本センターは、基盤研究設備部門、先端研究設備部門、低温部門の3つの部門から構成されています。
基盤研究設備部門
- 表面・界面構造解析室
- 透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡などによって、各種材料・物質の微細組織観察と構造解析を行っています。
- 化学構造解析室
- X線回折装置、核磁気共鳴装置、質量分析装置などによって、各種材料の構造解析やキャラクタリゼーションを行い、先端的な教育研究を実現しています。
- 分析・計測機器室
- 各種材料のキャラクタリゼーションおよび計測を行う機器を保有しており、先端的な教育研究を行っています。
先端研究設備部門
- 材料・デバイス室
- 半導体を始め、各種電子、光材料およびデバイスの最先端作製、評価設備を備え、クラス100のリングラフィー用、クラス10000の半導体プロセス用クリーンルームを設置しています。これらの設備はナノ材料、デバイスの作製、評価にも有効です。
- 機械・ロボット室
- マイクロロボットを始め、介護用ロボットなどの設計、試作、評価に必要な最先端加工設備を備えています。また、マイクロロボットなどの動作を観察するための特殊光学顕微鏡設備もあります。最近は、バイオテクノロジーを取り入れたロボットの研究も行っています。
- 光・バイオ室
- コヒーレント光を使った光科学の研究に必要な最先端レーザーや生物の発光の解明に活用されるバイオ研究設備、低温室を備えています。最近は、DNAやナノバイオの研究も盛んになっています。
低温部門
低温を利用する理工学の教育と研究のために、寒剤としての液体窒素と液体ヘリウムの供給をしています。平成16年9月からは東京農工大学にも液体ヘリウムの供給を行っています。
- 低温室
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液体窒素貯槽およびヘリウムガス液化・回収システムの概要。 ヘリウム液化機 リンデ(TCF 50) 液化速度 60L/時 ヘリウム圧縮機 ケーザー(DS241) 0.93Mpa 840m3/時 液体ヘリウム貯槽 クライオファブ(CMSH2000) 2,000L ヘリウム回収圧縮機 ブルックハルト(C5U2.12) 14.7MPa 90 m3/時 長尺容器(30本組) 14.7MPa 2,250m3 液体窒素貯槽 岩谷瓦斯(CEA-10K) 9,700L
- 研究設備センターオリジナルサイト
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